High Purity

Next level cleaning

High Purity

High Purity

Nettoyage pour semi-conducteurs, optique et technique de précision

Nettoyage industriel ultrafin au niveau atomique – avec une sécurité de processus validable

Nettoyage haute pureté – parce que chaque détail compte.

Dans le secteur des semi-conducteurs, des pièces optiques, des techniques médicales et des techniques de précision, une propreté absolue est la garantie de performances élevées et d’une grande fiabilité. 

Lorsque des pièces présentant des géométries complexes doivent être nettoyées de manière à éliminer les particules jusqu’à 0,5 µm et sans aucun dépôt à l’échelle moléculaire, il faut bien plus que de simples techniques standard: chez BvL, nous associons une grande compréhension des processus et des matériaux à des installations extrêmement précises pour adapter vos processus de nettoyage avec finesse à vos exigences. Notre centre technique permet de contrôler les résultats en conditions réelles. 

Des tests réalisés avec des pièces originales – y compris les inspections sous UVA en salle sombre et la mesure des particules (PMC) – illustrent les performances de nettoyage de manière fiable. Que ce soit en tant que Clean Service Provider ou que fabricant, nos conseillers techniques, ainsi que les différent services de BvL dans le monde vous accompagnent dans le développement de processus stables et vérifiables.

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Coup d’œil les principaux avantages pour vous :

High Purity – la pureté au plus haut niveau :

nous atteignons un niveau de propreté élevé des pièces en éliminant les particules jusqu’à 0,5 µm et sans aucun dépôt à l’échelle moléculaire.

Sécurité attestée des processus :

nos processus peuvent être documentés, sont validables et peuvent faire l’objet d’audits – avec une traçabilité sans faille.

Matériaux et géométries :

nous assurons un nettoyage à l’eau ultrapure (UPW), par ultrasons et sous vide, compatible avec les matériaux sensibles, tels que le titane, l’aluminium et le PEEK – même avec des géométries complexes.

Vos exigences :

Pureté jusqu'au niveau 1 – fiabilité des processus, validabilité, intégration transparente.

  • pureté jusqu’au grade 1 – processus sûrs, validables et pouvant être idéalement intégrés aux processus les plus divers
  • Exigences croissantes en matière de propreté particulaire et moléculaire – p. ex. pour les composants de grade 1
  • Nettoyage sûr des géométries complexes et micromodules filigranes
  • Documentation et reproductibilité fiables pour des processus validables
  • Intégration possible dans des environnements de production existants ou des salles blanches
  • Élimination des déchets organiques ou de l’humidité résiduelle et respect des limites atomiques / moléculaires
Vos exigences :
Industrie des semi-conducteurs :

nettoyage de composants UHV complexes (ultra-vide), composants pour les lithographies EUV et DUV, carters, supports et systèmes de manutention pour plaquettes de silicium

Exigences :
nombre de particules jusqu’à 0,5 µm extrêmement réduit, dégazage contrôlé du H2O et des hydrocarbures, éléments HIO dans les percentiles atomiques inférieurs

Industrie optique:

nettoyage de précision des lentilles, prismes, filtres, culots et modules optomécaniques


Objectif :
obtenir des surfaces exemptes de tout dépôt avant le revêtement ou le montage / assurer une pureté extrême des matériaux sensibles

Technique de précision:

nettoyage des micromodules, logements, ressorts, capteurs et composants présentant des tolérances faibles


Focus :
élimination sûre des résidus de traitement, tels que les réfrigérants lubrifiants, les huiles et les particules sans aucun effet sur le matériau

Notre solution :

des installations de nettoyage de précision pouvant être configurées de manière flexible

Pour les exigences les plus élevés, avec une propreté mesurable et une aide fiable tout au long des phases du projet. Nos systèmes modulaires peuvent être adaptés avec précision aux processus spécifiques des clients. Le spectre d’applications va du prénettoyage exempt d’huiles et de graisses au nettoyage final qualifié conformément aux grades 1 à 4.

 Chez BvL, nous poussons le nettoyage industriel de précision au niveau supérieur – avec précision, d’une manière reproductible et parfaitement adaptée à vos besoins.

Procédés possibles

Technologie d’impulsions de vide (TIV)
Nettoyage en profondeur grâce à la force d’implosion: procédé novateur de changement de pression pour un échange amélioré des fluides et un effet décrassant amélioré. Idéal pour les composants aux géométries complexes, les canaux étroits et les orifices à fond plein. Le procédé TIV peut être intégré dans toutes les installations de la gamme Niagara et, ultérieurement, dans les installations de nettoyage par immersion Atlantic.

Nettoyage par ultrasons
P. ex. 40, 80 et 132 kHz, systèmes multi-fréquences, générateurs d’ultrasons avec fonction sweep pour les géométries filigranes.

Nettoyage par pulvérisation / immersion
Nettoyage puissant de toutes les faces des pièces grâce à un cadre à buses spécial et au remplissage de la chambre de nettoyage (immersion partielle réglable en continu, immersion totale / remplissage sous vide, immersion par circulation).

Nettoyage par immersion
Combinaison parfaitement accordée et synchronisée de différents procédés de nettoyage dans un système d’installation à plusieurs niveaux. Les procédés de traitement et le nombre de cuves peuvent être adaptés de manière individuelle.

Séchage
Séchage sous vide, séchage par circulation d’air / à l’air chaud avec filtre HEPA, soufflage, séchage infrarouge – en alternance ou de manière combinée.

Nos installations :

Configuration possible en fonction des besoins – adapté à vos pièces et à vos processus

NiagaraUp:

NiagaraUp: NiagaraUp:

Installation de lavage à panier avec technologie d’impulsions de vide (TIV)

La NiagaraUP associe un format compact et une intégration élevée des processus pour assurer une propreté au plus haut niveau. Toutes les étapes du processus sont exécutées dans une chambre afin de réduire l’encombrement. 

Ces installations réduisent également les rétro-contaminations et les contaminations croisées, entre autres grâce à des surfaces électropolies et au design arrondi de la chambre, ainsi qu’à des processus spéciaux, tels que le nettoyage de la chambre au moyen d’eau ultrapure (UPW), une vidange complète rapide...


Procédé
En détachant de manière fiable les adhérences même dans les capillaires, orifices et creux, la technologie d’impulsions de vide (TIV) joue un rôle de premier plan dans le secteur du nettoyage. 

Il vient ainsi compléter les techniques de nettoyage par pulvérisation et immersion (immersion partielle réglable en continu, immersion totale / sous vide et immersion par circulation), ainsi que les techniques de séchage à l’air chaud avec filtre HEPA et sous vide pour fournir des solutions complètes pour répondre aux exigences High Purity. Ce procédé peut, par ailleurs, être configuré de manière individuelle.

En savoir plus
Atlantic:

Atlantic: Atlantic:

Installation de nettoyage par immersion Atlantic

L’installation par immersion à plusieurs chambres Atlantic est une solution en ligne optimale pour répondre aux exigences de propreté les plus élevées tout en garantissant des rendements élevés. 

Les pièces sont ici immergées par un portique automatique dans des cuves successives présentant différents niveaux de traitement. Le nombre de ces cuves peut varier.


Procédé
Le nettoyage par immersion, la phosphatation, la pulvérisation, le nettoyage par injection, les ultrason (option), le rinçage, la passivation, ainsi que le séchage optionnel sont ici possibles. Ces nombreuses possibilités permettent une configuration ciblée des processus de nettoyage.

En savoir plus
Des forces communes :
  • Modularité: plusieurs réservoirs et chambres possibles
  • Déroulement des programmes pouvant être configuré librement: l’ordre, le nombre et la combinaison des différentes étapes de nettoyage peuvent être choisis librement
  • Traçabilité sans faille des paramètres des processus: possibilités de documentation, d’audits et de validation
  • Intégration sûre dans le processus de production et les salles blanches
  • Utilisation d’eau déminéralisée et ultrapure (UPW) présentant une conductivité et une valeur TOC réduites
  • Séchage par circulation d’air, à l’air chaud avec filtre HEPA, infrarouge et sous vide
  • Qualité de l’installation (made in Germany), matériaux durables et de qualité, surfaces électroplies, acier inoxydable de qualité V4A
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Nous trouverons la solution idéale pour votre application de type « High Purity »

Vous souhaitez faire tester vos pièces, demander une offre ou en savoir plus sur nos installations ? 

Alors, n’hésitez pas à nous contacter sans aucun engagement ou à demander un rendez-vous de conseil :

Nous vous conseillons volontiers personnellement sur les solutions de nettoyage adaptées à vos applications.