NiagaraUP

Reinraumtauglich mit VIT-Technologie

Die NiagaraUP ist ideal für Anwendungen in der Halbleiter-, Optik-, Medizin- und Präzisionstechnik – überall dort, wo höchste Sauberkeit auf minimalem Raum gefragt ist. Sie ist mit der innovativen Vakuum Impuls Technik (VIT) von BvL ausgestattet und erfüllt damit höchste Anforderungen auf partikulärer, molekularer, filmischer und atomarer Ebene. Alle Prozessschritte erfolgen platzsparend in einer Kammer. Das Anlagensystem ist in verschiedenen Größen und Konfigurationen erhältlich und lässt sich problemlos in Reinräume integrieren.

Grundanlage
Spritzreinigung: rotierendes oder schwenkendes Aufnahmesystem mit individueller Anpassung der Düsen und Düsenrahmen
Flutreinigung: stufenloses Teilfluten, Voll-/Vakuumfluten, Umwälzfluten
Ultraschall: z. B. 40, 80 und 132 kHz, Multi-Frequenz-Systeme, Ultraschallgeneratoren mit Sweep-Funktion für filigrane Geometrien
Vakuum Impuls Technik (VIT): spezielle Tiefenreinigung für komplexe Bauteilgeometrien
CleanDesign: elektropolierte Oberflächen und abgerundetes Kammerdesign zur Vermeidung von Kontaminationsbereichen
Maßnahmen für sichere Prozessführung: automatische Kammerreinigung mit Reinstwasser, schnelle Restlosentleerung und weitere Maßnahmen zur Vermeidung von Cross-Kontaminationen
Funktionsprinzip: rotierendes Rhönradsystem für allseitige Reinigung
Anzahl Tanks: modular mit Ein- und Mehrtank-Systemen
Energieeffizienz: Isolierung und intelligente Steuerung
Beschickung: Frontbeschickung über eine rollengeführte Aufnahmevorrichtung
Gehäuse: modernes Design aus hochwertigem Edelstahl – vordere Front mit veredeltem Oberflächen-Finishing (optional)
Medienführende Komponenten: Reinraumkonform ohne HIO-Elemente
Luftfilter zur Kammerbelüftung und Trocknung: HEPA H 13 Filter
Steuerung und Bedienung: Siemens Simatic mit modernem und einfach bedienbarem Siemens Touchpanel
Clean Design
Maßnahmen für sichere Prozessführung
Medienführende Komponenten
Luftfilter zur Kammerbelüftung und Trocknung

Neue Anlage bei BvL - NiagaraUP

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Die Technik im Detail

Technische Daten

Anlagen Beispiel NiagaraUP 600

Nutzlänge mm 670            
Nutzbreite mm 480            
Nutzhöhe mm 300            
Aufgabehöhe mm 925            
Tragkraft / Charge kg 150            
Tankinhalt je Tank (I / II) Liter 620            


Weitere technische Daten und bauseitige Leistungen auf Anfrage

Prozessschritte

Die Reinigung erfolgt in einer Kammer und ist individuell mehrstufig konfigurierbar:

  • Spritzverfahren
  • Flutverfahren (stufenloses Teilfluten, Voll-/Vakuumfluten, Umwälzfluten)
  • Ultraschallreinigung (Ein- oder Multifrequenzsysteme)
  • Innovative BvL Vakuum Impuls Technik (Tiefenreinigung für kapillare Bauteilstrukturen, Bohrungen und Innenkanäle)
  • Effiziente Kammerreinigung mit UPW-Wasser (Reinstwasser) zwischen den Behandlungsschritten
  • Permanente Filtration
  • Schnelle Restlosentleerung
  • Trocknungsverfahren – alternativ oder kombinierbar: Umluft-, Heißluft- mit HEPA H13 Filter, Infrarot-, Vakuumtrocknung

Optionen und Ergänzungen

  • Reinraumoption
  • Weitere Tanks und Kammern
  • Verschiedene Handlings- und Automationssysteme
  • Kühl- und Entmagnetisiersysteme
Einsatzbereiche und Vorteile
  • Sehr hohe Sauberkeitsanforderungen: Grade 4 bis 1
  • Kompakte Bauweise für eine platzsparende Installation
  • Reinraum-Integration möglich
  • Fortschrittliches Anlagensystem zur Vermeidung von Rückkontaminationen und Cross-Kontaminationen
  • Innovatives Verfahren: Vakuum Impuls Technik (VIT)
  • Modular: Erweiterung der Tanks und Reinigungskammern möglich
  • Individuell wählbare Programmabläufe:
    sowohl Reihenfolge der Prozesschritte als auch Auswahl der Zeiten und Parameter
  • Flexibler Einsatz: als Vor- oder Endwäscher
  • Wartungsfreundlich: gute Zugänglichkeit der Tanks und Komponenten

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